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洁净室中使用风机过滤单元FFU的优势
加入日期:2020-9-25 10:43:46    点击数:124

  

    随着社会的不断进步,我国的洁净工程也越来越广泛,洁净工程按照不同的使用要求,会有不同的级别要求,如10级,100级,1000级,10000级,十万级,三十万级甚至洁净度要求更高的工作环境,而FFU风机过滤单元因此出现了,FFU风机过滤单元的出现很好地解决了这一问题。

Fan Filter Unit(风机过滤单元机组)简称FFU,是由高效过滤器(HEPA)或超高效过滤器(ULPA)、微型风机、壳体组合而成的净化空调末端,其用于乱流及层流洁净室内。FFU通常都是与吊顶骨架配合使用,根据吊顶骨架的不同选择与之对应的FFU。FFU的洁净方式可以实现空气洁净度等级要求在ISO3~ISO9(即1级~100万级)之间的洁净室。

1.节约空间

    利用FFU风机过滤单元可以有效的节省空间,解决洁净室吊顶顶端维修空间狭小的问题。当我们使用FFU时,洁净室的吊顶将会被分为若干模块,每个模块就是一个FFU,这样我们可以通过调节每个模块来满足吊顶上部送风静压箱的压力平衡的要求,从而大大降低了对该静压箱高度的要求。同时可以省去巨大的送风管、回风管,所以可以节省安装空间。特别是在改造工程受到层高限制时,FFU可以有效的解决这一问题。


2.FFU灵活性
    利用FFU独立性的结构特点,可随时调整,弥补洁净室机动性能不足,从而解决了生产工艺不宜调整的缺点。因为FFU是自带动力的,它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里,可根据需要,分区控制。而且,随着半导体生产工艺的变化,厂房布局必然要作相应调整,FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松,而且不会带来二次投资。



3.减少运行成本


    FFU系统节能显著,从而解决了空调机房庞大、空调机组运行费用增高的集中送风的缺点。在前期选用FFU时,初期投资要比使用风管通风高,但它在后期运行中,突出的表现出节能、免维护等特点,使得FFU更受欢迎。



4.负压密封

    这是FFU的独特特点。由于它本身能够提供静压,使得送风静压箱相对于洁净厂房负压。因此即使风口安装存在泄漏,也是洁净室向静压箱泄漏,不会形成对洁净室的污染。使得密封变得很简单而且安全。


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